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Messtechnik auf höchsten Niveau

Hohe Reinheit, Medienbeständigkeit, Dichtigkeit, Genauigkeit sowie die SEMATECH und SEMI Normen bilden die Basisanforderungen für die Entwicklung und Fertigung unserer Messgeräte für die Halbleiterindustrie. 

Unser Produktprogramm bietet maßgeschneiderte Lösungen für die Druckmessung in Gas-, Chemie- und Lösemittelversorgungssystemen. Durch unser innovatives Produktdesign, welches sich durch kleine Totraumvolumen und gutes Freispühlverhalten der Messräume auszeichnet, ist eine Reduzierung von Inbetriebnahme- und Wartungszeiten möglich.

Um in explosionsgefährdeten Bereichen Messungen nach den geltenden Gesetzen und Richtlinien durchführen zu können bieten wir ATEX bzw. FM zugelassene Geräteausführungen an.


Applikationsbeispiele:

  • Gasverteilungssysteme (Gas Sticks, Gas Panels, Bulk-Gas Versorgung)
  • Reinstwasserversorgung
  • Flüssigchemikalienversorgung
  • Füllstandsmessung von Flüssiggasen und Lösemitteln

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